微电子行业由器件和微电子质料等组成,器件和微电子质料细分为外延片、SOI片、硅抛光片、IC制造等,这些器件的生产都需要用到工业从纯水,如生产期间用的纯水水质不达标,则会直接影响设备的使用寿命,下面了解一下微电子行业用的是哪种水处理设备 ?
 
首先:
  水的电阻率:凭据我国有关用水标准(GB/T11446.1-1997),大规模集成电路元器件的生产的用水水质一般要求电阻率大于18MO-CM。
  温馨提示:国家的有关用水标准(GB/T11446.1-1997)水的电阻率分为四个品级:四级为电阻率0.5MO-CM、三级电阻率12MO-CM、二级电阻率不低于15MO-CM、一级 高电导率18MO-CM以上。
  纯水脱盐率:微电子行业做的器件一般都会使用到电脑、耳机、充电宝、电视机、手机等的电子设备,因此要求纯水的脱盐率应高达99%以上。
  纯水树脂:电子行业用的纯水树脂要求在95%以上。
  其次:
  超纯水设备:接纳的是预处理、反渗透技术、edi超纯水技术以及后级处理等要领的水处理工艺,可制取出水质电阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上,
  脱盐率:edi超纯水技术可去除水中99%左右的盐身分。
  超纯水设备可以将水中的导电介质、细菌、矿物质、胶体物质、气体、微生物等去除至很低水平的水处理设备。
 
  因此微电子行业的工业纯水是可以用超纯水设备制取的。